印刷式OLED喷墨打印装备微环境控制关键技术研究

印刷式OLED显示技术具有不需要掩膜板、工艺流程简单、可适应大尺寸打印等优点。印刷式OLED喷墨打印机是印刷式OLED显示器件制造中的关键装备，对所处环境的温度、气压、洁净度、气流场等指标有较高要求。以上述环境指标受控为导向，分析印刷式O L E D喷墨打印微环境控制原理，提出各指标的控制方法、控制系统结构等要点。技术实施后，喷头模组区域和基板载台区域的温度精度指标分别为（22±0.5）℃和（22±0.2）℃，气压范围控制在2～10mbar（1 mbar=100 MPa），气压波动小于1.5 mbar，洁净度达到ISO2标准，气流场平流特性占主导地位。最后，对未来显示技术面临的挑战进行了展望。